Laboratorio Sala Limpia (ML-306)

La Sala Limpia es un espacio de ambiente controlado diseñado para el desarrollo de procesos de investigación y apropiación de conceptos relacionados con el manejo y procesamiento de materiales. Cuenta con un alto control de filtración de partículas, lo que garantiza un entorno altamente puro y adecuado para la realización de ensayos y procedimientos sensibles.

El laboratorio está conformado por tres áreas principales dentro del espacio controlado. La primera es el área de fotolitografía, destinada a la elaboración de máscaras para el procesamiento de diferentes sustratos. La segunda corresponde al área de procesos físico-químicos, donde se realizan procedimientos como ataque químico, evaporación de metales sobre diversos sustratos, entre otros procesos de micro y nanofabricación. Finalmente, el área de caracterización permite evaluar, en condiciones controladas, los resultados obtenidos durante los procesos realizados.

De manera complementaria, fuera del ambiente controlado se encuentra el área gris, equipada con instrumentos para la medición de impedancias y el análisis de curvas características de procesos y sensores desarrollados en la Sala Limpia. En esta área también se dispone del equipo Viewsizer 3000, que permite analizar la concentración y distribución de partículas en muestras nano de diferentes sustancias.